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50 200 500 800 1000 régulateur de débit SCCM 2 5 8 10 12SLPM P300 50 100 150 200 250 300 SLPM

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CAFS5025 Interface du contrôleur de débit de masse GFC NTP 1 pouce 0,8 MPa

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CAFS6000 Temps de réponse rapide 65 ms Contrôleur numérique de débit de gaz

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Pas de compensation de température Temps de réponse du débit de masse du compteur de gaz 20 ms

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MFC900 Poids 0,295 kg Type de soupape Normal Précipitation maximale de fermeture 1,0 MPa

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CMF5019 Interface G3/4 alimentation électrique 8-24 VDC 50mA VDC sélectionnable

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CMF5012 Interface G1/2 alimentation électrique 8-24 VDC 50mA VDC facultatif

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0-50 / 100 / 200 / 300 / 400 SLPM Mems Détecteur de débit Temps de réponse rapide personnalisable

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CAFS5032 Température Température moyenne -10 à 65°C Température ambiante -25 à 85°C

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